一种新型晶体炉观察窗挡板结构
基本信息
| 申请号 | CN200920210235.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201648568U | 公开（公告）日 | 2010-11-24 |
| 申请公布号 | CN201648568U | 申请公布日 | 2010-11-24 |
| 分类号 | C30B35/00(2006.01)I;F27D21/02(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 黄小卫 | 申请（专利权）人 | 上海元亮光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区马陆镇嘉戬公路328号6幢底层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种新型晶体炉观察窗挡板结构，涉及晶体生长设备和高温设备，属于晶体生长设备和半导体设备制造技术领域，包括挡板转轴和真空动密封，挡板转轴穿过真空动密封的内腔后和观察窗挡板相接，在观察窗挡板的上方设置观察窗，用于观察炉膛内晶体的生长，其特征在于：所述的挡板转轴由水冷装置构成，水冷装置包括进水管和出水管，在所述进水管和出水管外密封水冷挡板。有益效果是将转轴结构中的实心金属棒更换成水冷结构，在实际使用中能有效的把热量通过冷却水带走，减低了转轴的表面温度，从而保护了转轴外面的真空密封圈或磁流体结构，有利于提高了真空度和延长真空动密封的使用温度和使用寿命。 |
