一种新型晶体炉提拉结构

基本信息

申请号 CN200920210234.3 申请日 -
公开(公告)号 CN201538828U 公开(公告)日 2010-08-04
申请公布号 CN201538828U 申请公布日 2010-08-04
分类号 C30B15/30(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 黄小卫 申请(专利权)人 上海元亮光电科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 201800 上海市嘉定区马陆镇嘉戬公路328号6幢底层
法律状态 -

摘要

摘要 一种新型晶体炉提拉结构,涉及晶体生长技术领域,包括晶杆机构、提拉机构、籽晶中心和新型称重机构,其特征在于;在所述晶杆机构的右侧设有悬臂称重杆,直线滑板轨道设在所述提拉机构的左侧,与悬臂称重杆相连,所述籽晶中心设在提拉机构的下方,在所述籽晶中心的下方设置新型称重机构。本实用新型的有益效果是利用籽晶中心可调技术和新型称重机构,利用全新的机构设计,客服传统设计的缺点,从而提高了晶体生长设备可靠性和稳定性,在生产中提高了晶体材料的质量。