一种新型晶体炉提拉结构
基本信息
申请号 | CN200920210234.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN201538828U | 公开(公告)日 | 2010-08-04 |
申请公布号 | CN201538828U | 申请公布日 | 2010-08-04 |
分类号 | C30B15/30(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 黄小卫 | 申请(专利权)人 | 上海元亮光电科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 201800 上海市嘉定区马陆镇嘉戬公路328号6幢底层 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种新型晶体炉提拉结构,涉及晶体生长技术领域,包括晶杆机构、提拉机构、籽晶中心和新型称重机构,其特征在于;在所述晶杆机构的右侧设有悬臂称重杆,直线滑板轨道设在所述提拉机构的左侧,与悬臂称重杆相连,所述籽晶中心设在提拉机构的下方,在所述籽晶中心的下方设置新型称重机构。本实用新型的有益效果是利用籽晶中心可调技术和新型称重机构,利用全新的机构设计,客服传统设计的缺点,从而提高了晶体生长设备可靠性和稳定性,在生产中提高了晶体材料的质量。 |
