一种硅片自动清洗插片设备
基本信息
| 申请号 | CN201820635661.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208637383U | 公开（公告）日 | 2019-03-22 |
| 申请公布号 | CN208637383U | 申请公布日 | 2019-03-22 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I; H01L21/677（2006.01）I; H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马建国 | 申请（专利权）人 | 浙江岐达科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 | 代理人 | 嘉兴岐达新材料有限公司 |
| 地址 | 314300 浙江省嘉兴市海盐县元通街道威博大道2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片自动清洗插片设备，包括下料斗、清洗槽、接料清洗器、翻面清洗器、转运插片器、插片架。本实用新型能够使硅片的插片自动进行，降低了人工参与，提升了插片品质和效率，同时还能够对硅片进行翻面清洗，保证干净整洁，方便后续生产。 |
