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一种超快紫外激光透明材料的加工装置

基本信息

申请号	CN201821476368.5	申请日	-
公开（公告）号	CN214264293U	公开（公告）日	2021-09-24
申请公布号	CN214264293U	申请公布日	2021-09-24
分类号	B23K26/06（2014.01）I;B23K26/064（2014.01）I;B23K26/36（2014.01）I;B23K26/402（2014.01）I	分类	机床；不包含在其他类目中的金属加工;
发明人	蒋仕彬	申请（专利权）人	杭州银湖激光科技有限公司
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	陶海锋
地址	311400浙江省杭州市富阳区银湖街道富闲路9号银湖创新中心6号十三层1317室
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种超快紫外激光透明材料的加工装置，由光纤超快激光器、聚焦透镜和焦点调整机构组成，其特征在于：光纤超快激光器主要由输出波长在1020纳米～1090纳米之间的种子激光器、多级或单级光纤放大器、准直器、三倍频器件构成，种子激光器上设有脉冲控制装置；种子激光器的输出光经光纤放大器放大，由准直器准直后经三倍频器件输出紫外激光脉冲串；脉冲串聚焦在透明材料的待加工位置，焦点调整机构按设定轨迹调节聚焦点相对透明材料的位置，以垂直于所述透明材料的上表面和下表面的方向为上下方向，聚焦点与透明材料之间具有上下方向相对运动的自由度。本实用新型能大大提高材料去除效率，不需要加热或酸侵的后续工序，也不会产生斜角。