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一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法

基本信息

申请号 CN202011275352.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112358194B 公开（公告）日 2022-06-17
申请公布号 CN112358194B 申请公布日 2022-06-17
分类号 C03C15/00（2006.01）I 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 彭寿;蒋洋;官敏;宋晓贞;倪植森;张少波;许波;杨金发;李俊琛 申请（专利权）人 凯盛科技集团有限公司
代理机构 昆明合众智信知识产权事务所 代理人 -
地址 100000北京市海淀区紫竹院南路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种极薄玻璃刻蚀减薄装置及方法，包括：若干玻璃夹持架，若干所述玻璃夹持架包括两端设置的夹持盘，两侧所述夹持盘的瀑布流挡板槽内通过挡流板相连接；统一操动机构，若干所述活动轴均活动插设在同一根牵拉连杆上；减薄刻蚀箱，若干所述玻璃夹持架两端通过密封轴承活动安装在减薄刻蚀箱两侧；瀑布流喷淋板，所述瀑布流喷淋板底部阵列式安装有若干喷淋头，本发明通过若干玻璃夹持架的夹持，能够进行直立式浸泡刻蚀和瀑布流式刻蚀法，通过在待检测玻璃两侧安装挡流板，使得待刻蚀玻璃两侧与挡流板形成的缝隙处，克服了瀑布流法无法进行双侧刻蚀的缺陷，大大提高了刻蚀的质量，提高了装置的使用范围。