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一种晶圆扫描装置及扫描方法

基本信息

申请号 CN202010997692.7 申请日 -
公开（公告）号 CN112038279A 公开（公告）日 2020-12-04
申请公布号 CN112038279A 申请公布日 2020-12-04
分类号 H01L21/68;H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 张庆钊;陈百捷;姚广军;王镇清 申请（专利权）人 芯导精密（北京）设备有限公司
代理机构 北京方韬法业专利代理事务所（普通合伙） 代理人 芯导精密（北京）设备有限公司
地址 100000 北京市海淀区中关村南大街52号3号楼七层726号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆扫描装置及扫描方法，所述晶圆扫描装置用于安装在晶圆盒底部，晶圆盒内包括数个晶圆槽，所述晶圆扫描装置包括底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板垂直于底板并平行对置连接在底板之上，所述第一侧板上设有数个光电发射端，所述第二侧板设有数个光电接收端，每一个光电发射端与一个光电接收端一对一设置构成一组扫描组件，每组扫描组件内的光电发射端和光电接收端分别置于一个晶圆槽的两侧而形成错位扫描。本发明结构简单，使用方便，错位扫描有效提高准确性，且不接触不移动晶圆，不会对晶圆产生损伤。