一种新型机械臂
基本信息
| 申请号 | CN202010997703.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112109095A | 公开（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申请公布号 | CN112109095A | 申请公布日 | 2020-12-22 |
| 分类号 | B25J11/00(2006.01)I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 张庆钊;陈百捷;姚广军;王镇清 | 申请（专利权）人 | 芯导精密（北京）设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京方韬法业专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 芯导精密（北京）设备有限公司 |
| 地址 | 100000北京市海淀区中关村南大街52号3号楼七层726号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型机械臂，包括基础部、第一叉指和第二叉指，所述第一叉指和第二叉指包括柄部和端部，所述柄部均呈长条状，在柄部的下端向外延伸形成钩状的端部，第一叉指和第二叉指平行并列布置，第一叉指和第二叉指的柄部上端与基础部转动连接，使得第一叉指和第二叉指均能够以柄部为轴转动。本发明能够实现稳定取放晶圆的同时不触碰晶圆表面，不造成晶圆损伤，翻转时晶圆不易脱落，且对加工精度要求低，成本低廉。 |
