一种用于传送晶圆机械臂的联动结构及其机械臂
基本信息
| 申请号 | CN202111213312.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113787513A | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN113787513A | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | B25J9/10（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 陈百捷;张庆钊;姚广军;王镇清 | 申请（专利权）人 | 芯导精密（北京）设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京千壹知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭士磊 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济开发区康定街甲6号诺金传感科技园102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于传送晶圆机械臂的联动结构，包括一级连杆、一级连接环、一级摆动环、二级连杆、二级连接环、二级摆动环、关节轴和摆动轴。一级连杆的两端分别连接有一级连接环和一级摆动环；二级连杆的两端分别连接有二级连接环和二级摆动环；一级连接环、二级连接环依次套设在关节轴上；一级摆动环、二级摆动环依次套设在摆动轴上；调节关节轴带动一级连接环或二级连接环摆动，通过对应连接的一级连杆或二级连杆带动摆动轴在对应位置摆动。通过本发明的联动结构，保证各级机械臂始终保持在其对应水平面上的直线运动轨迹，同时避免传统钢带或齿形带传动造成的磨损和更换问题，提高传动系统环境的清洁度，延长传动结构及机械臂的使用寿命。 |
