一种自带晶圆寻边传感器的机械手专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种自带晶圆寻边传感器的机械手

基本信息

申请号	CN201610572484.6	申请日	-
公开（公告）号	CN106558526B	公开（公告）日	2019-09-13
申请公布号	CN106558526B	申请公布日	2019-09-13
分类号	H01L21/687（2006.01）I; H01L21/683（2006.01）I; B25J9/08（2006.01）I; B25J15/06（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	陈百捷; 王镇清; 姚广军	申请（专利权）人	芯导精密（北京）设备有限公司
代理机构	北京驰纳智财知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	芯导精密（北京）设备有限公司
地址	100190 北京市海淀区中关村南大街52号3号楼七层726号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种自带晶圆寻边传感器的机械手，包括主臂（100）、寻边传感器（1103）和芯轴组件（140），寻边传感器（1103）能随主臂（100）一起升降旋转，主臂（100）采用第一中空结构，芯轴组件（140）贯穿所述第一中空结构并设置成相对主臂（100）不旋转但能相对主臂（100）升降的状态，芯轴组件（140）采用中空轴形成第二中空结构，所述第二中空结构始终保持抽气状态，托盘（1402）托住晶圆背部并与之保持一定空间与大气相通产生负压，使托盘（1402）在取送晶圆时能够稳固并托住晶圆。本发明将寻边传感器与机械手合二为一，寻边过程中晶圆不旋转主臂带着传感器高速旋转,有效避免现有旋转晶圆带来的缺陷，托盘支撑晶圆的负压结构有效克服了现有吸盘结构的缺陷。