一种硅晶槽式湿法制绒循环过滤处理方法
基本信息
申请号 | CN201911411723.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111769053A | 公开(公告)日 | 2020-10-13 |
申请公布号 | CN111769053A | 申请公布日 | 2020-10-13 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 方再华;扬艳景;韩光;马艳林;卢春伟;亓延杰;孙国栋 | 申请(专利权)人 | 保定光为绿色能源科技有限公司 |
代理机构 | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘桂荣 |
地址 | 071000河北省保定市高碑店市112线东侧高固路北侧 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种硅晶槽式湿法制绒循环过滤处理方法,属于硅晶单元处理工艺领域,采用S1.制绒、S2.第一次水洗、S3.碱洗、S4.第二次水洗、S5.酸洗、S6.脱水烘干,清洗槽药液采用循环过滤系统,有效降低硅酸盐化合物和络合物的累积,同时节省了化学品的用量,清洗干净的制绒后硅片,避免了后续扩散和烧结高温无机物对光伏电池载流子的影响,制备的黑硅电池填充高,电性能参数优。 |
