一种低变形率石英坩埚及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201911089440.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110820041B | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN110820041B | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | C04B35/626（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C04B35/657（2006.01）I;C04B35/14（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 徐晓军;周泽;徐强;谷守伟;高润飞;王林;王永青;何文兵 | 申请（专利权）人 | 内蒙古欧晶科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 聂启新 |
| 地址 | 214400江苏省无锡市周庄镇长青路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种低变形率石英坩埚，所述石英坩埚采用的高纯石英砂是含有以下掺杂元素的二氧化硅材料，单位ppm；Al 13，B＜0.10，Ca 0.5，Co＜0.01，Cr＜0.01，Cu 0.03，Fe 0.2，K 0.4，Li 0.6，Mg 0.02，Na 0.7，Ni＜0.01，Ti 1.3，Mn 0.02；所述高纯石英砂在上述组成的基础上进行铝元素、钡元素或铂元素的进一步掺杂；所述铝元素的掺杂量为5‑20ppm；所述钡元素的掺杂量为10‑50ppm；所述铂元素的掺杂量为5‑60ppm。本发明石英砂锅变形率低，具有良好的耐温度冲击和较好的抗析晶特性。 |
