石英坩埚制备工艺
基本信息
| 申请号 | CN201710483566.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109112613B | 公开（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申请公布号 | CN109112613B | 申请公布日 | 2021-03-12 |
| 分类号 | C30B15/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 杜兴林;祝立君;于宏宇;章北铭;刘应龙 | 申请（专利权）人 | 内蒙古欧晶科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 010020内蒙古自治区呼和浩特市金桥开发区世纪十八路（内蒙古中环光伏院内） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型石英坩埚制备工艺，其包括如下步骤：(1)原料准备，(2)预制前调试，(3)预制，(4)熔制前调试，(5)熔制。本发明的优点在于，通过控制熔制过程中真空阀的开闭以及熔制条件，将微气泡含量较多的气泡复合层夹在微气泡含量较少的透明层和薄气泡外层之间，既保证了石英坩埚在拉晶工作时的热源均匀的辐射，又保证了气泡复合层内的气泡在拉晶过程中不涨裂，降低了因长时间拉晶工作时石英坩埚外表面气泡膨胀破裂后与石墨坩埚的反应，延缓两者反应后析晶层形成的时间，增加石英坩埚的使用寿命，使其使用寿命增加至190小时，比常规石英坩埚寿命增加90小时以上，可以满足至少拉3‑4根单晶棒的拉晶工艺需求。 |
