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一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备

基本信息

申请号 CN202021381258.8 申请日 -
公开（公告）号 CN212722002U 公开（公告）日 2021-03-16
申请公布号 CN212722002U 申请公布日 2021-03-16
分类号 G01M13/00(2019.01)I 分类 测量；测试;
发明人 李潇逸;李欢;邢攸美;方伟华;施珂;谢良槐 申请（专利权）人 杭州格林达电子材料股份有限公司
代理机构 杭州赛科专利代理事务所（普通合伙） 代理人 郭薇
地址 311228浙江省杭州市萧山区杭州萧山临江工业园区红十五路9936号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种实验室用模块化喷淋式湿电子化学品评价设备，包括配合设有控制器的处理装置、多腔体装置、运送装置；处理装置包括设于多腔体装置顶部的若干喷淋装置和若干吹扫装置；多腔体装置包括顺次连接的第一模块、第三模块、若干第二模块、第三模块和第一模块，喷淋装置或吹扫装置配合设置在第二模块顶部，前端和后端的第三模块顶部分别设置喷淋装置和吹扫装置，两个第三模块对称；运送装置与第二模块和第三模块配合。本实用新型适用于湿电子化学品开发过程中小批量产品在线验证，参考价值高，避免评价偏差，充分满足模拟；实验规模小，安装成本低，物料可在湿电子化学品开发公司现地考评，反馈速度快，提高湿电子化学品的开发速度。