一种扩散源瓶及扩散系统
基本信息
申请号 | CN202022673046.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213340403U | 公开(公告)日 | 2021-06-01 |
申请公布号 | CN213340403U | 申请公布日 | 2021-06-01 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I;F16L55/00(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 王文健;姜大俊;潘励刚;郑旭然 | 申请(专利权)人 | 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司 |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 胡彬 |
地址 | 224000江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及光伏电池制造技术领域,公开了一种扩散源瓶及扩散系统。该扩散源瓶包括瓶体、进气管和出气管。瓶体顶部设有连通其内外的出气通道,出气通道呈锥形且竖直设置,出气通道的直径由上至下逐渐增大。进气管的一端置于瓶体外部,另一端伸入瓶体内并靠近瓶体底部。出气管的一端与出气通道的末端连通。本实用新型提高了产品的合格率,又提高了安全性。 |
