一种自动称重装置及槽式湿法处理设备
基本信息
| 申请号 | CN202023177432.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213782035U | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN213782035U | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;G01N5/04（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 易书令;胥洋;姜大俊;唐步玉;潘励刚 | 申请（专利权）人 | 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 224000江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种自动称重装置及槽式湿法处理设备，包括：上下料定位模块、上下料称重模块和数据处理模块；上下料定位模块用于将放置有槽式湿法处理前的硅片的花篮运输至第一设定位置进行固定；上下料称重模块用于对第一设定位置的花篮进行称重，并将获取的第一重量发送至数据处理模块；上下料定位模块还用于将放置有槽式湿法处理后的硅片的花篮运输至第二设定位置进行固定；上下料称重模块还用于对第二设定位置的花篮进行称重，并将获取的第二重量发送至数据处理模块；数据处理模块还用于根据第一重量和第二重量，获取硅片经过槽式湿法处理后的减薄量。本实用新型提供的技术方案，可解决人工对硅片的制绒减薄量进行称重的精度较低的问题。 |
