一种类单晶硅锭及其制备方法和应用
基本信息
申请号 | CN201911351011.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113026100A | 公开(公告)日 | 2021-06-25 |
申请公布号 | CN113026100A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
分类号 | C30B28/06;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 陈伟;周硕 | 申请(专利权)人 | 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司 |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 巩克栋 |
地址 | 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种类单晶硅锭及其制备方法和应用,所述制备方法包括:(1)将至少一个第一板状籽晶和至少一个第二板状籽晶交替铺设在坩埚底部;以[010]晶向为基准,所述第一板状籽晶的[001]端面相较于第二板状籽晶的[001]端面沿中心旋转θ,且10°≤θ≤80°;(2)铸锭。本发明的方法避免了原生位错的问题,降低成本,且得到的硅锭能够加工出正面均为[001]晶向的硅片。 |
