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一种硅片检测机构及镀膜设备

基本信息

申请号 CN202022887834.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213459649U 公开（公告）日 2021-06-15
申请公布号 CN213459649U 申请公布日 2021-06-15
分类号 H01L21/66（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 孙津;刘恩华;张晨鑫;姜大俊 申请（专利权）人 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 224000江苏省盐城市盐城经济技术开发区漓江路66号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，公开一种硅片检测机构及镀膜设备。该硅片检测机构包括传输组件、检测组件和转移组件，传输组件用于承接并传输的待镀膜硅片，检测组件位于传输组件的上方，检测组件能够检测传输组件上的待镀膜硅片的表面的反射率，转移组件与检测组件电连接，转移组件被配置为根据检测组件的检测结果将待镀膜硅片转移至对应的石英舟内。本实用新型提供的硅片检测机构，转移组件能够根据检测组件的检测结果将待镀膜硅片转移至对应的石英舟内，以将待镀膜硅片分类，每个石英舟对应一种镀膜工艺参数，每个待镀膜硅片均能在与其表面的反射率相匹配的工艺参数下进行镀膜处理，保证了硅片表面的镀膜效果，产品质量高。