一种排气护盘压片

基本信息

申请号 CN201220568378.8 申请日 -
公开(公告)号 CN202881441U 公开(公告)日 2013-04-17
申请公布号 CN202881441U 申请公布日 2013-04-17
分类号 C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈昌林;周俭;陈锐;陈剑春;薛东;付雁清;李福龙 申请(专利权)人 上海杰姆斯电子材料有限公司
代理机构 北京元中知识产权代理有限责任公司 代理人 上海杰姆斯电子材料有限公司
地址 200062 上海市普陀区绿洲中环中心金沙江路1628弄5号1001室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种排气护盘压片,位于炉体底部,包括平板状的中护盘压片、两个带排气孔的圆弧状支撑板、四个侧挡板和两个半圆环状的排气压片上盖板,其中两个支撑板对称设置在中护盘压片上表面,且两个支撑板之间留有供石墨电极和电极护套通过的间隔,两个排气压片上盖板分别设置在两个支撑板上端,支撑板和排气压片上盖板的两端设置有侧挡板,中护盘压片、排气压片上盖板和侧挡板三者的外边缘与炉体内壁连接,从而形成空腔,空腔内安装多层碳毡材料,既起到过滤排气的作用,又有额外保温的功能,使设备排气孔不容积被堵塞、排气均匀流畅,热场的温度稳定。