一种石墨热场排气护套
基本信息
| 申请号 | CN201220568340.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202881440U | 公开（公告）日 | 2013-04-17 |
| 申请公布号 | CN202881440U | 申请公布日 | 2013-04-17 |
| 分类号 | C30B15/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈剑春;周俭;陈昌林;薛东;陈锐;付雁清 | 申请（专利权）人 | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京元中知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 另婧 |
| 地址 | 200062 上海市普陀区绿洲中环中心金沙江路1628弄5号1001室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨热场排气护套，所述石墨排气护套由基座和套筒组成，二者为内径相同的同轴环状柱体，基座外轮廓由原来的正方形更改为圆形，有效的防止石墨掉渣、损坏等现象，并且增大排气护套的内径，优化排气护套长宽比例，有利于单晶炉更好的排气及清理，防止氧化物堵住护套，防止炉内氧化。 |
