一种石墨热场护盘压片

基本信息

申请号 CN201220569752.6 申请日 -
公开(公告)号 CN202881442U 公开(公告)日 2013-04-17
申请公布号 CN202881442U 申请公布日 2013-04-17
分类号 C30B15/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 付雁清;周俭;李德建;陈昌林;陈建春 申请(专利权)人 上海杰姆斯电子材料有限公司
代理机构 北京元中知识产权代理有限责任公司 代理人 另婧
地址 200062 上海市普陀区绿洲中环中心金沙江路1628弄5号1001室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种石墨热场护盘压片,设置在石墨热场炉体底部,其特征在于:包括下护盘压片和护盘压片上盖,护盘压片上盖为有一定容积的下端开口的结构,护盘压片上盖的下沿与下护盘压片的上表面固定连接,在护盘压片上盖与下护盘压片之间形成一个可放置隔热材料的空腔,在下护盘压片和护盘压片上盖的空腔中填充隔热材料,使得在维持原护盘压片防护隔热材料的功能的基础上,还具有底部保温的功能,并且结构简单。