一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器
基本信息
| 申请号 | CN201220429139.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202744655U | 公开（公告）日 | 2013-02-20 |
| 申请公布号 | CN202744655U | 申请公布日 | 2013-02-20 |
| 分类号 | C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈昌林;李德建;陈锐;陈剑春;付雁清;薛东;李福龙 | 申请（专利权）人 | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京元中知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 地址 | 200062 上海市普陀区绿洲中环中心金沙江路1628弄5号1001室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器，包括形成加热系统的加热器本体（1）、设置在加热器本体（1）侧壁的侧壁发热体（2）、以及设置在加热器本体（1）底部用于支撑石墨坩埚的底部支撑脚（3），所述的侧壁发热体（2）向下和向内延伸形成弧形的底部发热体（4）。本实用新型所述石墨加热器设计上引进新型发热布局理念，使得在维持传统加热器性能的基础下具有热态分布合理、热能利用率高、拉制大尺寸单晶成品率高等特点。 |
