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直拉单晶炉石墨坩埚

基本信息

申请号 CN201010134461.X 申请日 -
公开（公告）号 CN102206855A 公开（公告）日 2011-10-05
申请公布号 CN102206855A 申请公布日 2011-10-05
分类号 C30B15/10(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 周俭 申请（专利权）人 上海杰姆斯电子材料有限公司
代理机构 北京元中知识产权代理有限责任公司 代理人 上海杰姆斯电子材料有限公司
地址 201600 上海市松江区泗泾镇高新技术园区双施路333号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种直拉单晶炉石墨坩埚，包括石墨坩埚本体，在所述石墨坩埚本体的侧壁上设置有至少一个贯穿所述石墨坩埚本体壁厚的第一通孔，在每个所述第一通孔中插入一个石墨环，在所述石墨环的中心再开有贯穿的第二通孔。直拉单晶炉内的硅料在加热时产生的气体可以从第二通孔里跑出来，这样，就可以避免一氧化硅对石墨坩埚各瓣接缝处的侵蚀，而使接缝处变形，在石墨环因为长期有气体从中穿过而变形后，只需要将石墨环敲掉，重新换一个即可，此时，石墨坩埚还可以继续使用，可延长石墨坩埚的寿命一至两倍，大幅度降低生产成本。