氧化钒复合薄膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201611217685.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106835019B | 公开（公告）日 | 2018-12-25 |
| 申请公布号 | CN106835019B | 申请公布日 | 2018-12-25 |
| 分类号 | C23C14/08;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 林晓东;李成强 | 申请（专利权）人 | 中科微机电技术（北京）有限公司 |
| 代理机构 | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 | 代理人 | 安娜 |
| 地址 | 100085 北京市海淀区安宁庄路23号2幢六层6161室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于非制冷红外探测器的氧化钒复合薄膜及其制备方法，制备方法包括步骤：在基片的表面制备一层绝缘层；采用直流磁控溅射法，在绝缘层上制备一层氧化钒薄膜；将氧化钒薄膜在氮气气氛下进行退火处理，退火处理过程中对氧化钒薄膜施加偏置功率；采用直流磁控溅射法，在经退火处理后的氧化钒薄膜上制备一层纳米钛薄膜；将制备了纳米钛薄膜的复合物在氧气气氛下的真空环境中进行退火处理。制备得到的复合薄膜具有较高的电阻温度系数和红外吸收率，光学、电学综合性优良，用作非制冷红外探测器的热敏电阻材料或红外吸收材料时，能显著提高器件的综合性能，适用于高灵敏度的非制冷红外探测器，实用价值高。 |
