偏振光图像传感器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110755872.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113611715A | 公开（公告）日 | 2021-11-05 |
| 申请公布号 | CN113611715A | 申请公布日 | 2021-11-05 |
| 分类号 | H01L27/146（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵照;林晓东;闻棕择 | 申请（专利权）人 | 中科微机电技术（北京）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100085北京市海淀区西三旗昌临813号A1号楼103室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种偏振光图像传感器及其制作方法，采用MEMS工艺制作光栅阵列，光栅阵列中的光栅单元悬空在基底的感光单元上方，并与感光单元对准，桥墩结构连接包含感光单元的基底与光栅单元，使光栅阵列具有良好结构稳定性。该光栅阵列通过直接在图像传感器基底采用MEMS工艺集成到图像传感器上，无需外部增加偏振装置，节约了相机物理空间，减轻相机重量。另外，本申请提供的一种偏振光图像传感器中包含采用MEMS工艺制备的透镜阵列，可使更多的光汇聚到感光单元，提高填充因子。 |
