一种MEMS图像传感器像元
基本信息
| 申请号 | CN202010179500.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111220280A | 公开（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申请公布号 | CN111220280A | 申请公布日 | 2020-06-02 |
| 分类号 | G01J5/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 巨锦华;林晓东 | 申请（专利权）人 | 中科微机电技术（北京）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100085北京市海淀区西三旗昌临813号A1号楼103室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种MEMS图像传感器像元，包括衬底、桥墩、桥面和桥臂，桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上，并通过桥墩中的引线将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，所述桥臂的横截面呈周期性曲折状。本发明将桥臂的横截面设计成周期性曲折状，可以在有限的空间内，更大限度的延长桥臂，从而减小热导，提升NETD指标。 |
