柱形光栅干涉仪及读数头总成装置
基本信息
| 申请号 | CN202110067125.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112902832A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112902832A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | G01B9/02;G01B11/26 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 伍强;李艳丽 | 申请（专利权）人 | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种柱形光栅干涉仪及读数头总成装置，其中，读数头总成装置包括：包括读数头总成以及升降机构，在零位状态下，所述旋转平台的转动轴线、所述柱形光栅尺的中心轴线、读数头总成的中心轴线同轴设置，所述升降机构设置在所述读数头总成的底部，用于在所述旋转平台开始转动之前，将所述读数头总成提升至所述柱形光栅尺对应的测量位置，以及在所述旋转平台完成转动之后，将所述读数头总成降低至低于所述柱形光栅尺的底面。本发明采用了柱形光栅尺和读数头总成可升降分离的架构，能够在工位交换转动的过程中，对旋转平台的转动角度进行精密测量，并且在非交换转动状态下，避免读数头总成撞到柱形光栅尺。 |
