一种零位传感器及检测系统
基本信息
| 申请号 | CN202110067141.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112902838A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112902838A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | G01B11/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 伍强;李艳丽;顾峥 | 申请（专利权）人 | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种零位传感器及检测系统，其中，零位传感器包括设置在检测对象底部的角反射器，角反射器包括三个相互垂直的反射面；设置在角反射器下方的光源和光强探测器，光源用于发出检测光，光强探测器用于接收从角反射器的反射面反射回来的反射光，光强探测器包括四个象限的检测分区和中央盲区，中央盲区与零位对应。本发明的光刻机的零位传感器及检测系统，实现了对检测对象的横向偏移和垂向偏移的快速准确的检测，从而为检测对象提供了可靠的零位基准，有助于检测对象进行快速精准的零位调整。 |
