一种旋转平台的旋转测控装置
基本信息
| 申请号 | CN202110067126.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112835270A | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN112835270A | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李艳丽;伍强 | 申请（专利权）人 | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 张磊;吴世华 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种旋转平台的旋转测控装置，包括：旋转平台、磁悬浮平面旋转电机、柱形光栅干涉仪，所述柱形光栅干涉仪包括柱形光栅尺、多个光栅尺读数头以及位于所述柱形光栅尺底部的平面干涉仪，柱形光栅干涉仪用于测量所述旋转平台转动角度、在水平方向和竖直方向的偏移量以及在竖直方向的倾斜量；所述磁悬浮平面旋转电机根据所述柱形光栅干涉仪的测量结果，对旋转平台进行转动控制，以及对水平方向和竖直方向的偏移量和竖直方向的倾斜量进行补偿。本发明采用磁悬浮平面旋转电机对承载工件台的旋转平台进行旋转驱动，使用柱形光栅干涉仪对转动角度和偏移量进行实时测量和反馈补偿及控制，从而确保旋转平台能够精准地将工件台交换到对应的工位。 |
