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一种非接触式电容传感器装置

基本信息

申请号 CN202110067143.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112815817A 公开（公告）日 2021-05-18
申请公布号 CN112815817A 申请公布日 2021-05-18
分类号 G01B7/02 分类 测量；测试;
发明人 李艳丽;伍强 申请（专利权）人 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
代理机构 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 吴世华;尹一凡
地址 201800 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种非接触式电容传感器装置，包括第一支架，以及与第一支架相对的待测物体；第一支架中包括第一磁铁、第一U型弹簧片、绝缘介质层、电容器和夹板；第一磁铁与第二磁铁相对设置，待测物体与第二磁铁一起移动，第一磁铁通过连线连接第一U型弹簧片，第一U型弹簧片靠近第一磁铁的一端固定连接绝缘介质层；电容器包括正极板和负极板，正极板和负极板在垂直方向上交叉排列，绝缘介质层平行于正极板和负极板，且部分位于相邻的正极板和负极板之间，正极板和负极板连接至信号检测单元；电容器被固定在夹板上。本发明通过磁铁控制的非接触式电容传感器；可以通过电容变化确定待测物体的移动方向和位移，具有较高的响应频率。