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一种改善传输迟滞的像元结构

基本信息

申请号 CN202110062018.4 申请日 -
公开（公告）号 CN112864183A 公开（公告）日 2021-05-28
申请公布号 CN112864183A 申请公布日 2021-05-28
分类号 H01L27/146(2006.01)I 分类 -
发明人 范春晖;葛星晨 申请（专利权）人 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
代理机构 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 吴世华;尹一凡
地址 201800上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室
法律状态 -

摘要

摘要 一种改善传输迟滞的像元结构，包括一个用于收集入射光线并进行光电转换产生载流子的光电二极管、包括传输晶体管的多个场效应晶体管以及一个浮置扩散区；其中，在光电二极管的上方介质层中，设置多个金属块，并在金属块上施加不同的电压，或在光电二极管侧边浅槽隔离区，设置单个金属块，并在金属块上施加电压，或两种方式的结合，使得在光电二极管中形成具有方向性的电场分布。因此，本发明通过这种方式，可以实现在较短的传输晶体管开启时间内，将光电二极管中的所有载流子传输到浮置扩散区，从而提高了光电二极管中载流子的传输效率，改善了传输迟滞问题。