一种外延片托盘及与其配合的支撑和旋转联接装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种外延片托盘及与其配合的支撑和旋转联接装置

基本信息

申请号	CN201010263418.3	申请日	-
公开（公告）号	CN101922042A	公开（公告）日	2010-12-22
申请公布号	CN101922042A	申请公布日	2010-12-22
分类号	C30B25/12(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	金小亮;陈爱华;孙仁君;张伟	申请（专利权）人	江苏中晟半导体设备有限公司
代理机构	上海信好专利代理事务所（普通合伙）	代理人	江苏中晟半导体设备有限公司;华晟光电设备（香港）有限公司
地址	中国香港湾仔谢斐道90号豫港大厦17楼1701室
法律状态	-

摘要

用于MOCVD反应腔的外延片托盘及与其配合的支撑和旋转联接装置，在机械装卸托盘时，通过托盘底部中心向外凸出的转轴，插入与其垂直的驱动轴顶部的沉孔中，利用分别设置的平行于托盘表面的接触面或对应侧面上的接触面支撑托盘，利用该接触面间的摩擦传动当驱动轴旋转时，带动托盘旋转。通过设置轴向定位槽和定位键，从摩擦传动转变为接触传动，保证托盘转动与驱动轴转动一致，提高托盘在中高速下长期转动的可靠性。凸出的托盘转轴易于对摩擦接触的表面进行加工处理，在保证托盘上对应部位的机械强度的条件下，不增加托盘的整体厚度，减少了托盘的热容量，从而减少了托盘加热与冷却需要的时间，提高了生产效率并有利于外延反应需要的快速温度调节控制。