光波导集成器件
基本信息
| 申请号 | CN202010071916.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113219681A | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN113219681A | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | G02F1/03;G02F1/035 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 张秀全;朱厚彬;李真宇;薛海蛟;李洋洋;张涛 | 申请（专利权）人 | 济南晶正电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘灿强;尹淑梅 |
| 地址 | 250101 山东省济南市高新区港兴三路北段1号济南药谷研发平台区1号楼B座1806室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种光波导集成器件，所述光波导集成器件可以包括：衬底；第一隔离层，位于衬底上；光波导构件，至少部分地嵌入第一隔离层中并与衬底分隔开；过渡层，设置在第一隔离层和光波导构件上；以及光调制层，设置在过渡层上并且与光波导构件的顶表面叠置。过渡层的位于光调制层与第一隔离层之间的部分和过渡层的位于光调制层与光波导构件之间的部分可以具有不同的成分。 |
