复合薄膜及其制造方法

基本信息

申请号 CN202010071732.5 申请日 -
公开(公告)号 CN113224187A 公开(公告)日 2021-08-06
申请公布号 CN113224187A 申请公布日 2021-08-06
分类号 H01L31/0392(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张秀全;朱厚彬;李真宇;薛海蛟;李洋洋;张涛 申请(专利权)人 济南晶正电子科技有限公司
代理机构 北京铭硕知识产权代理有限公司 代理人 刘灿强;尹淑梅
地址 250101山东省济南市高新区港兴三路北段1号济南药谷研发平台区1号楼B座1806室
法律状态 -

摘要

摘要 公开了一种复合薄膜及其制备方法,所述复合薄膜可以包括:衬底;第一隔离层,位于衬底的顶表面上;光学薄膜结构,位于第一隔离层上,并且包括由光调制层、光传输层和产生光的有源层形成的堆叠结构。有源层可以与光调制层和光传输层中的一者接触。