复合薄膜及其制造方法
基本信息
申请号 | CN202010071732.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113224187A | 公开(公告)日 | 2021-08-06 |
申请公布号 | CN113224187A | 申请公布日 | 2021-08-06 |
分类号 | H01L31/0392(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 张秀全;朱厚彬;李真宇;薛海蛟;李洋洋;张涛 | 申请(专利权)人 | 济南晶正电子科技有限公司 |
代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘灿强;尹淑梅 |
地址 | 250101山东省济南市高新区港兴三路北段1号济南药谷研发平台区1号楼B座1806室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 公开了一种复合薄膜及其制备方法,所述复合薄膜可以包括:衬底;第一隔离层,位于衬底的顶表面上;光学薄膜结构,位于第一隔离层上,并且包括由光调制层、光传输层和产生光的有源层形成的堆叠结构。有源层可以与光调制层和光传输层中的一者接触。 |
