一种自动出料的系统
基本信息
| 申请号 | CN201820826607.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208562515U | 公开（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申请公布号 | CN208562515U | 申请公布日 | 2019-03-01 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）I; C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 纪幸辰 | 申请（专利权）人 | 深圳市硅光半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市深联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市硅光半导体科技有限公司 |
| 地址 | 518040 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区泰然九路11号海松大厦B座2201C | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出了一种自动出料的系统，用于含硅薄膜的制备，包括：第一机械手、反应炉、控制器、与所述的控制器相连接的温度传感器，所述的温度传感器设置于所述的反应炉中，所述的控制器能控制所述的机械手的运转或停止，所述的第一机械手用于抓取所述的反应炉中的含硅薄膜成品于预设位置。实施本实用新型的技术方案中，通过自动取出含硅薄膜的成品，解放了人力，实现了自动化生产和无人管理。 |
