一种链式扩散工艺
基本信息
| 申请号 | CN201810894204.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109037044B | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN109037044B | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | H01L21/228;H01L21/324;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴俊旻;张鹏;常青;谢耀辉;张冠纶 | 申请（专利权）人 | 通威太阳能（安徽）有限公司 |
| 代理机构 | 昆明合众智信知识产权事务所 | 代理人 | 杨俊达 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种链式扩散工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、进片；S2、第一次喷磷酸；S3、升温初扩散；S4、第一次降温冷却；S5、第二次喷磷酸；S6、升温次扩散；S7、第二次降温冷却；S8、出片。本发明的链式扩散工艺，通过两次喷涂磷酸以及紧接着进行两步高温扩散的步骤，实现双层扩散的目的，并且配合着磷酸喷涂的流量和高温扩散的温度设置，能够很好的使得经由本发明的链式扩散工艺的太阳能电池有效提升光电转换效率，实用性很强，非常值得推广。 |
