一种用于电子皮肤的柔性压力传感器及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810848819.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109100075B | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN109100075B | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | G01L7/08（2006.01）I;G01L1/16（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张玉英 | 申请（专利权）人 | 安徽唯诗杨信息科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王俊晓 |
| 地址 | 321300 浙江省金华市永康市经济开发区北湖路116号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于电子皮肤的技术领域，提供了一种用于电子皮肤的柔性压力传感器及制备方法。该方法通过激光刻蚀制得具有锥形微孔的硅模板，然后涂覆含固化剂的聚二甲基硅氧烷，固化后剥离得到锥形结构的聚二甲基硅氧烷柔性基板，再喷涂石墨烯/聚苯胺分散液形成透明导电薄膜，进一步封装氧化锡锑电极及聚醚酰亚胺衬底，制得柔性压力传感器。与传统方法相比，本发明制备的压力传感器，不仅具有良好的柔性，临界拉应变和临界压应变较高，而且对微压力具有超高的灵敏度，探测极限低，响应时间短，适合用于电子皮肤。 |
