首页/ 河南凯瑞数码股份有限公司/ 专利详情

蓝光光盘用母盘及其制造方法

基本信息

申请号 CN201110084346.0 申请日 -
公开（公告）号 CN102270472B 公开（公告）日 2013-11-27
申请公布号 CN102270472B 申请公布日 2013-11-27
分类号 G11B7/26(2006.01)I;G11B7/2403(2013.01)I 分类 信息存储;
发明人 叶健;刘彤;杨明生 申请（专利权）人 河南凯瑞数码股份有限公司
代理机构 广州三环专利代理有限公司 代理人 河南凯瑞数码股份有限公司
地址 455000 河南省安阳市高新技术产业开发区海河大道东段
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种蓝光光盘用母盘的制造方法，该方法在形成光刻胶层前先在基片上形成一层碳化吸光层，并将光刻胶层形成于碳化吸光层上，因此，在后续的曝光及显影过程中，碳化吸光层能有效减少光线在界面上的反射，增加光刻胶层下表面的光能吸收，进而提高光线的吸收率，来提高光刻胶的感光分辨率，以增加光刻胶层底部的曝光宽度，使光刻胶层底部的曝光宽度接近上表面的宽度，增加沟槽斜率，从而提高沟槽密度以满足蓝光光盘的精度要求；另，本发明还公开了一种利用上述制造方法制造得到的蓝光光盘用母盘，其在曝光及显影后能有效提高光刻胶层的沟槽密度，从而满足蓝光光盘的精度要求。