一种多晶硅及其制备方法
基本信息
申请号 | CN201711313319.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN107777689A | 公开(公告)日 | 2018-03-09 |
申请公布号 | CN107777689A | 申请公布日 | 2018-03-09 |
分类号 | C01B33/035 | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 王建鑫;郭晓刚;吴一兵 | 申请(专利权)人 | 江西赛维LDK光伏硅科技有限公司 |
代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郝传鑫;熊永强 |
地址 | 338000 江西省新余市高新经济开发区马洪工业基地赛维工业园专利办公室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种多晶硅的制备方法,包括以下步骤:提供多晶硅反应炉,所述多晶硅反应炉中设有与电极连接的热载体,所述热载体包括钨丝和与所述钨丝连接的金属管,所述金属管的材质包括钽、钼和钛中的至少一种;将所述热载体通电加热,当所述热载体温度达到1000‑1100℃时,向所述多晶硅反应炉中通入原料气体,所述原料气体在所述热载体表面沉积生成棒状多晶硅。本发明提供的多晶硅的制备方法,不再需要高电压击穿及预加热器击穿硅芯的工艺方式,优化了运行前的反应器准备时间,提高了多晶硅的生产效率,降低了电气控制系统的复杂性及故障率,制备方法简单易操作。本发明还提供了上述制备方法制得的多晶硅。 |
