透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备
基本信息
| 申请号 | CN201710638899.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107687815B | 公开（公告）日 | 2018-02-13 |
| 申请公布号 | CN107687815B | 申请公布日 | 2018-02-13 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 蒋仕龙;陈方涵 | 申请（专利权）人 | 深圳市港科才盛科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深港产学研基地;深圳市港科才盛科技有限公司 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区高新技术产业园南区科苑南路高新七道15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明适用于薄膜技术领域，提供了一种透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备，基于薄膜厚度检测装置实现，所述薄膜厚度检测装置包括光源、扩散板和相机。本发明实施例通过提供一种由光源、扩散板和相机构成的薄膜厚度检测装置，用于进行透光薄膜厚度测量，可以有效简化装置结构、提高检测速度、满足较宽的测量范围要求并有效降低成本；通过调节相机的拍摄参数可以有效降低由于相机硬件结构造成的检测误差，通过采用光密度计量法结合预设修正函数来计算薄膜的厚度值，可以有效提高检测结果的准确性。 |
