一种IC级硅片退火用石英舟
基本信息
| 申请号 | CN202120497174.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214588767U | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN214588767U | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郭城;吕明;李充;王永超;惠大成 | 申请（专利权）人 | 内蒙古科晟科技有限公司 |
| 代理机构 | 山东瑞宸知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王萍 |
| 地址 | 015000内蒙古自治区巴彦淖尔市经济开发区富源北路与新华东街十字路口东500米路北 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种IC级硅片退火用石英舟，包括底部托架、上部框架、挡板一、挡板二、三角板、上部横杆和底部横杆，所述挡板一垂直于底部托架固定连接，所述挡板二垂直于底部托架固定连接，所述挡板一和挡板二的顶部均设有定位槽，所述挡板一顶部的定位槽包括定位槽一、定位槽二、定位槽三和定位槽四，所述挡板二顶部的定位槽包括定位槽五、定位槽六、定位槽七和定位槽八，所述三角板固定在底部托架和挡板一之间，所述上部横杆设置在上部框架纵向框架之间，所述底部横杆设置在底部托架纵向框架之间。本实用新型通过挡板上定位槽的设置，使得使用者在对不同规格的硅片进行退火处理时，只需要更换相应尺寸的上部框架即可，操作方便，节约成本。 |
