首页/ 杭州弘晟智能科技有限公司/ 专利详情

一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉

基本信息

申请号 CN201920632887.4 申请日 -
公开（公告）号 CN209947813U 公开（公告）日 2020-01-14
申请公布号 CN209947813U 申请公布日 2020-01-14
分类号 H01L21/677（2006.01）; H01L21/687（2006.01） 分类 基本电气元件;
发明人 沈文杰; 傅林坚; 周建灿; 邵鹏飞; 汤承伟; 杨奎; 潘礼钱; 曹建伟 申请（专利权）人 杭州弘晟智能科技有限公司
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 代理人 周世骏
地址 311100 浙江省杭州市余杭区龙船坞路96号2幢3层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及操纵外延生长炉的衬底的外延生长炉设备，具体涉及一种用于操纵衬底的工具及包含该工具的外延生长炉。包括托盘、机械臂和悬臂；悬臂在一端设有卡合部，托盘上设有与卡合部相配合的配合部；悬臂卡合部与托盘卡合部中间夹了一层弹性材料，并通过压紧块与螺钉进行固定；悬臂另一端通过连杆与机械臂相连；悬臂两侧设有平衡装置与定位装置。本实用新型还提供了一种外延生长炉，包含上述的工具。本实用新型降低了使用要求；让衬底的搬运更加准确，能够以很高精度把衬底放在反应室基座上；让搬运过程更加的平稳，减小了衬底损伤的风险；高纯度高洁净的托盘和定位块降低对反应室的洁净度影响。这对外延的质量有了很大的保证。