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一种用于碳化硅外延的气体分流装置

基本信息

申请号 CN201920617251.2 申请日 -
公开（公告）号 CN209941142U 公开（公告）日 2020-01-14
申请公布号 CN209941142U 申请公布日 2020-01-14
分类号 C30B25/14（2006.01）; C30B29/36（2006.01） 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 沈文杰; 傅林坚; 周建灿; 邵鹏飞; 汤承伟; 周航; 潘礼钱 申请（专利权）人 杭州弘晟智能科技有限公司
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 代理人 周世骏
地址 311100 浙江省杭州市余杭区龙船坞路96号2幢3层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型主要应用于半导件外延生长设备，具体涉及一种用于碳化硅外延的气体分流装置。包括分流腔室；分流腔室前端设有分流板与分流罩，分流腔室分流板上设有若干横向的通孔；分流罩内部中空并设有两个横向的隔板，将罩体按1：3：1体积比隔开；分流腔室内在相应位置也设有两块隔板，将分流腔室分为三部分，各个部分后端各设有一根金属波纹卡套管；分流腔室外部设有锁紧装置。本实用新型结构简单，设计合理，实现难度不大，维护方便。