驻波加速器电子枪检漏与预测试装置
基本信息
| 申请号 | CN201921979858.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211477523U | 公开（公告）日 | 2020-09-11 |
| 申请公布号 | CN211477523U | 申请公布日 | 2020-09-11 |
| 分类号 | G01M3/20(2006.01)I;G01M99/00(2011.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 赵延军;李太兴;李龙江;宋伟;孙芳超 | 申请（专利权）人 | 蓝孚医疗科技（山东）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 250000山东省济南市章丘区圣井街道张家村北圣井工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了驻波加速器电子枪检漏与预测试装置，包括主体框架，所述主体框架的顶部表面罩有真空保护罩，所述真空保护罩的内腔在主体框架的顶部表面中部设有电子枪工作台，所述电子枪工作台的顶部设有待检电子枪，所述主体框架正面中部嵌合有氦检漏仪，所述主体框架的底部一侧设有离子泵组件，所述主体框架的底部另一侧和离子泵组件平行的位置安装有分子泵组件。本实用新型中，将电子枪放置在真空罩之中，实现了整个设备有较好的真空测试基础，可以测试电子枪的真空密封性，采用离子泵、分子泵和氦检漏仪，可以准确地测试出电子枪在分子、离子状态下的发射情况，可以判断电子枪的质量好坏，避免残次品入库，导致企业受损。 |
