首页/ 南通赛勒光电科技有限公司/ 专利详情

一种悬臂型端面耦合器

基本信息

申请号 CN201811039165.4 申请日 -
公开（公告）号 CN109031518B 公开（公告）日 2020-01-03
申请公布号 CN109031518B 申请公布日 2020-01-03
分类号 G02B6/10;G02B6/12 分类 光学;
发明人 陈昌华;柏艳飞;仇超;甘甫烷 申请（专利权）人 南通赛勒光电科技有限公司
代理机构 上海申新律师事务所 代理人 南通赛勒光电科技有限公司
地址 226000 江苏省南通市苏通科技产业园1088号江成研发园内4号楼北楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种悬臂型端面耦合器，包括：硅衬底，于硅衬底上刻蚀具有第一预设高度的沟槽；埋氧层，形成于硅衬底的上表面；埋氧层包括：平板层，平板层形成于硅衬底的上表面；脊型层，脊型层形成于平板层的上表面，并水平延伸出平板层；硅波导，硅波导形成于埋氧层中，位于脊型层的上方；氮化硅波导，氮化硅波导形成于埋氧层中，位于硅波导的上方。有益效果：采用脊型埋氧层，实现与单模光纤光场模斑匹配的端面耦合器，平板层作为该悬臂型端面耦合器的支撑结构，保证机械稳固性，可以充当折射率匹配液的功能，降低该悬臂型端面耦合器对折射率匹配液的依赖性，氮化硅波导作为中间过渡层，使得单模光纤的光场能够以较高的耦合效率进入硅波导中。