一种离子注入机用冷却系统

基本信息

申请号 CN202022584884.3 申请日 -
公开(公告)号 CN213635897U 公开(公告)日 2021-07-06
申请公布号 CN213635897U 申请公布日 2021-07-06
分类号 H01J37/317;H01J37/02 分类 基本电气元件;
发明人 陈维 申请(专利权)人 无锡凯世通科技有限公司
代理机构 江苏弘扬知识产权代理有限公司 代理人 刘锦霞
地址 214000 江苏省无锡市新区硕放新312国道西侧,锡锦路北侧地块201室(空港产业园内)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及离子注入机技术领域,且公开了一种离子注入机用冷却系统,包括离子注入机本体,离子注入机本体的底端固定连接有冷却箱,冷却箱内壁的底部开设有集水槽,集水槽内壁底端的两侧均固定连接有旋转水车,本实用新型通过离子注入机本体启动后带动传动壁进行转动,传动壁固定连接的传动柱带动转轴柱进行转动,转轴柱的外壁带动穿插连接的圆盘支座进行转动,最终使圆盘支座外壁固定连接的两个方形扇叶在圆形槽内转动,两个方形扇叶转动能够使冷却箱内部的冷空气流动到离子注入机本体内,加速离子注入机本体的冷却,解决了离子注入机冷却方法一般都是自然降温,自然降温的等待时间很长的问题。