一种离子注入机用检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202022584863.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213635896U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213635896U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | H01J37/317;H01J37/244 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈维 | 申请（专利权）人 | 无锡凯世通科技有限公司 |
| 代理机构 | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘锦霞 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区硕放新312国道西侧，锡锦路北侧地块201室（空港产业园内） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及检测装置领域，且公开了一种离子注入机用检测装置，包括检测装置本体，检测装置本体一侧的一端固定设有检测端，检测端外壁的一侧固定设有定位扣，定位扣一侧的两端均固定设有定位杆，两个定位杆外壁的一端均滑动设有定位环，本实用新型离子注入机用检测装置,通过检测端外壁固定设有定位扣，定位扣一侧的两端通过定位杆固定两个定位环，两个定位环卡合在检测口外壁的两端，两个定位环的两端通过第一螺丝和第一螺帽固定对应连接，使得检测口稳定在检测端的一侧，使得检测装置本体的检测更加稳定，便于随时观察和调整离子注入剂量，提高离子注入效率，使得离子注入机的注入更加精准。 |
