一种离子注入机用抽真空装置
基本信息
| 申请号 | CN202022582245.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213635895U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213635895U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | H01J37/317;H01J37/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈维 | 申请（专利权）人 | 无锡凯世通科技有限公司 |
| 代理机构 | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘锦霞 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区硕放新312国道西侧，锡锦路北侧地块201室（空港产业园内） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用抽真空装置，包括离子注入机本体，离子注入机本体的一侧中间与抽气杆的一侧固定连接，抽气杆的内壁与方型滑块的外壁滑动连接，方型滑块的一侧中间与第一连接杆的一侧中间位置固定连接，本实用新型通过第二连接杆的另一侧与第二转轴外壁的顶部固定连接，当第二转轴转动时，第二转轴通过第二连接杆带动第一转轴在半圆形底座的半圆形滑槽内转动，最终使第一连接杆跟随半圆形底座进行往复运动，第一连接杆往复运动的同时便在抽气杆内对离子注入机本体的加速器内进行抽取空气，解决了外接的真空装置抽取真空效果不明显的问题。 |
