一种离子注入机用摆动装置
基本信息
| 申请号 | CN202022582271.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213601837U | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN213601837U | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | H01J37/317（2006.01）I;H01J37/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈维 | 申请（专利权）人 | 无锡凯世通科技有限公司 |
| 代理机构 | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘锦霞 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新区硕放新312国道西侧，锡锦路北侧地块201室（空港产业园内） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及离子注入机摆动的技术领域，且公开了一种离子注入机用摆动装置，包括离子注入机外防护筒外壁两侧的两端均转动设有转动轴，四个转动轴的一端均固定设有支撑板，四个支撑板一端的一侧均固定设有固定轴，四个固定轴一端的外壁均套设有固定环，其中两个固定轴的外壁均传动设有缓冲杆，两个缓冲杆内壁的一端分别与另外两个固定轴的外壁传动连接，本实用新型一种离子注入机用摆动装置，通过在装置上设置有支撑摆动装置，在两侧的连接杆以及支撑柱组成的支撑装置的配合下，可保证离子注入机在其中间可以稳定摆动，且得到一定的缓冲效果，避免装置摆动过度而导致损坏，从而提高装置的使用寿命。 |
