一种提高LED亮度的外延方法

基本信息

申请号 CN201910881462.1 申请日 -
公开(公告)号 CN110676356B 公开(公告)日 2020-01-10
申请公布号 CN110676356B 申请公布日 2020-01-10
分类号 H01L33/00(2010.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 彭鹏 申请(专利权)人 陕西飞米企业管理合伙企业(有限合伙)
代理机构 西安弘理专利事务所 代理人 韩玙
地址 710075陕西省西安市高新区发展大道18号飞秒研发办公室107室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种提高LED亮度的外延方法,传统LED的多重量子阱生长过程中,在最后一层量子垒结束后,新增一层不同于量子垒的外延粗化层,其中反应室内气氛环境依旧沿用量子垒生长条件,即反应室内气氛环境为V族气体源载气及通入反应室内气体,新增后的LED外延结构依次为接触层、P型掺杂层、P型阻滞层、外延粗化层、多重量子阱、应力释放层、N型阻滞层、N型掺杂层、非掺杂层、缓冲层和衬底。本发明用于提高LED的亮度和器件效率。