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一种用于气相沉积设备反应室内的尾气收集环

基本信息

申请号 CN201810343403.4 申请日 -
公开（公告）号 CN108588818A 公开（公告）日 2018-09-28
申请公布号 CN108588818A 申请公布日 2018-09-28
分类号 C30B25/02;C23C16/44 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 张超奇 申请（专利权）人 陕西飞米企业管理合伙企业（有限合伙）
代理机构 西安弘理专利事务所 代理人 杜娟
地址 710000 陕西省西安市高新区发展大道18号飞秒研发办公室107室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于气相沉积设备反应室内的尾气收集环，由石墨制备而成；其结构包括有环状的上盖以及位于上盖下方且与上盖配合安装的环状的下盖，上盖下表面位于环状上盖的内环和外环处均设置有环状的第一凸台，下盖的上表面与第一凸台对应处设置有环状的第二凸台，第一凸台分别和对应的第二凸台配合，第一凸台、第二凸台、上盖及下盖之间形成一环状的腔体，位于下盖内环处的第二凸台上均匀开设有多个气孔，下盖上还开设有排气孔。解决了现有技术中存在的钼金属材质的尾气收集环在高温下容易变形进而导致产品稳定性差以及使用寿命短的问题。